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    而不是全部的实施例。在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，只是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。如图1-3所示，本发明的一种板材搬运自动化设备的机械手，包括立柱1，立柱1的底部安装有滑轮，滑轮可配合滑轨等移动装置以使得机械手的移动范围更广，立柱1的顶壁上安装有第1电机2，第1电机2的驱动端安装有斜齿轮8，立柱1的一侧的侧壁上安装有两个支撑板10，两个支撑板10之间共同安装有蜗杆9，两个支撑板10上均开设有斜螺纹孔，且斜螺纹孔与蜗杆9相互啮合，蜗杆9与斜齿轮8相互啮合，蜗杆9的底端转动连接有安装板7，安装板7靠近立柱1一侧的侧壁上安装有滑块，立柱1的侧壁上开设有与滑块相互配合的竖向滑槽，安装板7通过滑块与竖向滑槽的配合可沿着立柱1进行上下滑动，安装板7的顶壁上开设有转槽，转槽内设有限位板18，蜗杆9的底端贯穿安装板7的顶壁并延伸至转槽内，蜗杆9的底端安装在限位板18的顶壁上。本发明中。溧水区工业气动悬臂吊推荐厂家！雨花台区象鼻子气动悬臂吊哪里可以买到

    本发明涉及一种半导体制造技术，尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。背景技术：在半导体加工设备中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送的过程中，传送精度越高，设备工艺一致性就越好，速度越快，单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展，设备处理的工艺越来越复杂，对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高，这就需要一种定位精度高，速度快的多自由度的机械手。技术实现要素：本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：一种晶圆搬运机械手，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，其特征为，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节。建邺区气动悬臂吊哪家有六合区糖袋气动悬臂吊推荐厂家！

    而后依靠绞索固定滑道位置。从而让输送滑道不同产品时，通过改变倾角来适应摩擦系数的变化。符合同一生产线生产多规格产品的需要。附图说明图1是本实用新型实施例的结构示意图；图2是本实用新型实施例的铰接组件结构示意图；图3是本实用新型实施例的绞索固定件的结构示意图。具体实施方式为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例只只用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。如图1至图2所示，本实用新型提供了一种输送滑道，包括塔架100、第1滑道200和第二滑道300。因为塔架100要对铰接组件130提供稳定的支撑力，又要承受绞索600的拉力，因此为了提高输送滑道的稳定性，因此对塔架100采用如下设计塔架四根竖直放置的立柱，立柱间有多根水平拉杆，水平拉杆和立柱间有多根对角拉杆。同时为了固定绞索600，塔架100上带有连接板120，连接板一端焊接在塔架100上，另一端开孔。并且第1滑道200和第二滑道300两侧外壁均延伸出有连接耳210，连接耳上210带有通孔。上述通孔中装配有螺栓，绞索600端头分别环绕过螺栓后通过旋紧螺栓固定绞索600。

    根据不同客户的不同的需求，费兰智能设备一般都生产出不同类型的助力机械手产品，主要就是根据用户的需求定制，其中包括软索式助力机械手、硬臂式助力机械手、码垛机械手、KBK轨道、助力机械臂等等。这些虽然名称不相同但是大致组成结构有一定的形同部分的，也就是助力机械手主要的功能部件！一、主机部分：可实现不同重量物料的重力平衡状态，适用于物料的精确移载操作。空载、满载及处理不同工件时，系统可感知其重量变化，并实现载荷在三维空间中的浮动状态，便于精确定位。全程平衡、运动顺滑等特点，使得操作者可以很便捷地实现工件的搬运、定位、装配等操作。刚性手臂可使机械手带工件越过障碍；系统可始终保持机械手头部的水平，发挥高作业性。水平臂可满足物料在相关场所进行横向放入、横向取出等动作要求。关节刹车装置，具有多个回转关节，以实现广域范围内的物料取置；配备有刹车装置，操作者可在操作过程中随时中断机械手的运动。二、气路控制系统部分：变频机械手设置有元件保护盒，以保护主要精密气动元器件，避免操作时意外撞击及灰尘沉积。系统配备二联件、单向阀和储气罐，为系统提供持续稳定的压缩空气，当主供气源意外断气时，可提供一定时间的安全保障。栖霞区糖袋气动悬臂吊推荐厂家！

    能够使第1线圈布线和第2线圈布线在与轴的轴向交叉的方向上进一步远离磁传感器。作为理想的技术方案，所述散热器具有凹部和凸部中的一者，所述适配器具有所述凹部和所述凸部中的另一者，所述凸部能嵌入所述凹部。由此，能够将适配器相对于散热器定位。作为理想的技术方案，还具备配置于所述凹部的第1粘接剂，利用所述第1粘接剂将所述散热器和所述适配器粘接起来。由此，能够确保适配器不脱离散热器。作为理想的技术方案，还具备将所述盖体固定于所述散热器的快速装配机构，所述快速装配机构的卡定部和被卡定部中的一者设于所述盖体的外周部，所述卡定部和所述被卡定部中的另一者设于所述散热器的外周部。由此，能够将盖体和散热器容易地固定在一起。浦口区米袋气动悬臂吊推荐厂家！静安区象鼻子气动悬臂吊推荐厂家

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增设可调节高度的支撑腿等滑道的固定方式也是可行的，这里不做详细介绍。利用第1滑道200和第二滑道300的铰接关系，可对两个滑道的倾角进行调整，并较终通过绞索600来固定滑道位置。从而让输送滑道满足输送不同规格产品时，摩擦系数变化所带来的影响。此外，对于长距离滑道运输的场景，还可在上述实施例的基础上增设前段滑道400和支撑腿500。前段滑道400底端搭接于第1滑道200的顶端，而其顶端对接于前段设备，在本实施例中，因为前段设备为一输送皮带，在前段滑道400的顶端增设有u字形缺口，贴合皮带端头的外形，同时为防止物料卡包，对u字形缺口的边缘进行卷边处理。为了对前段滑道400进行必要的支撑，至少要有一支撑腿500对滑道进行固定。如图3所示，为了快捷的调整绞索600的拉线长度，增设一种绞索固定件，其包括一个滑轮121、旋钮122和卡块123。滑轮121转轴固定在塔架100上。卡块100为金属件，在本实施例中具体选用316l，其带有第1通道123a和第二通道123b，二者相互平行。并且卡块123上端延伸出有两个连接筋124，分别铰接于滑轮121转轴的两侧。绞索600穿过第1通道123a后绕过滑轮121，然后穿过第二通道123b。旋钮122垂直从卡块123侧壁插入，并接通第二通道123b。雨花台区象鼻子气动悬臂吊哪里可以买到

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